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90-S/90-SE Series Track
詳細(xì)描述
9x系列軌道的特點(diǎn)：
適用于100mm到200mm圓片的處理
I線，248納米的光刻膠處理能力
多層式的熱處理結(jié)構(gòu)
高效能、高產(chǎn)能以及高可靠性。
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