咨詢
熱線
:021-50381269,0573-84983063
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 襯底檢測分選機
ZJT2000全自動高速基片檢測分選機
詳細(xì)描述
該設(shè)備用于 IC 及 LED 襯底片(基片)的質(zhì)量檢測。用來精密檢測襯底片的平整度、翹曲度以及厚度等指標(biāo)，并按照用戶設(shè)定的數(shù)值進(jìn)行自動分選的設(shè)備。
|
片子尺寸 |
2inch--8inch |
|
特點 |
用戶化設(shè)定， 全自動，高精度，高效率。 |
|
片盒裝/卸模式 |
手動 |
|
測量項目 |
LTV <0.15um(重復(fù)性) |
|
TTV <0.15um(重復(fù)性) |
|
|
Thickness <0.1um(重復(fù)性) |
|
|
BOW <0.1um(重復(fù)性) |
|
|
warp <0.5um(重復(fù)性) |
|
|
C- Thickness <0.15um(重復(fù)性) |
|
|
TIR <0.15um(重復(fù)性) |
|
|
工作效率 |
>620 片/小時（2 英寸基片，2.5mm 陣列） |
|
>520 片/小時（4 英寸基片，5mm 陣列） |
|
|
>480 片/小時（6 英寸基片，10mm 陣列） |
|
|
檢測精度 |
<0.1um |
|
檢測方式 |
連續(xù)掃描 |
|
片盒數(shù)量 |
20 盒，10盒上片，10 盒分選下片(或根據(jù)用戶要求設(shè)置) |
|
安全模式 |
殘留片處理(檢測艙內(nèi).機械臂上.定心臺上) 片盒未裝提示 |
|
真空錯誤 |
|
|
運行過程位置、時序錯誤 |
|
|
手動緊急停止、暫停 |
|
|
鎖屏功能 報警 |
|
|
記錄查詢 |
|
|
操作方式： |
操作員、工程師、管理員 |
|
最小步距 |
<0.05mm |
|
檢測傳感器 |
德國 PRECITEC 公司光學(xué)傳感器檢測（長壽命 LED 光源） |
|
邊緣要求 |
非接觸 |
|
校準(zhǔn) |
自動校準(zhǔn) |
|
數(shù)據(jù)查詢 |
按批次、按日期查詢每個襯底片對應(yīng)的數(shù)據(jù)圖 |
|
每個襯底片的數(shù)據(jù)導(dǎo)出 excel 格式 |
相關(guān)產(chǎn)品
