LED照明作為新一輪高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的焦點(diǎn)，被譽(yù)為全世界最有機(jī)會、最受追捧的產(chǎn)業(yè)。隨著LED工藝技術(shù)的發(fā)展，采取圖形化襯底技術(shù)可以有效提高 LED照明的亮度稱為當(dāng)前流行工藝，上海微高針對用戶需求，專業(yè)提供高性能LED襯底（PSS）制造技術(shù)的解決方案，受到市場熱烈反響。
    接觸接近曝光模式已不能滿足高性能LED照明芯片圖形（PSS）的要求。根據(jù)市場需求，上海微高公司以多年來承擔(dān)國家高端光刻機(jī)設(shè)備研制以及在IC領(lǐng)域提 供二手NIKON分步投影光刻機(jī)設(shè)備翻新、改造100多臺所積累的成功經(jīng)驗、技術(shù)，結(jié)合LED  PSS量產(chǎn)工藝特殊要求，對NIKON公司g6/g7/i7/i8/i9系列二手光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)行了翻新、改造，實現(xiàn)了具備全自動2英寸、3英寸、4英寸藍(lán) 寶石晶片傳輸、曝光功能的分步投影式曝光設(shè)備的供應(yīng)，和接觸接近式曝光設(shè)備相比較具備高分辨率、高產(chǎn)品合格率、高生產(chǎn)率和圖形一致性等優(yōu)點(diǎn)，完全能夠滿足 當(dāng)前LED量產(chǎn)的高要求。同時，經(jīng)過大量的LED PSS工藝實驗和用戶驗證，完全滿足PSS大批量生產(chǎn)的要求。上海微高公司提供的全自動、分步投影式曝光設(shè)備及掌握的LED照明晶片曝光工藝技術(shù)，為國內(nèi) 有志于高性能LED照明產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)廠商提供了更好的選擇

    1、滿足高性能LED PSS芯片量產(chǎn)的分步投影光刻機(jī)

    1.1 設(shè)備技術(shù)特點(diǎn)：
   （1） 高分辨率  1um。
   （2） 2英寸/3英寸晶片全自動傳輸、分步投影式曝光。
   （3）掩模版全自動傳輸、對準(zhǔn)。
   （4） 逐場調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，改善了由于藍(lán)寶石晶片局部形變對整片曝光圖形一致性造成的影響，確保良頻率。
   （5） 高產(chǎn)品合格率和圖形一致性 ，完全能夠滿足LED照明芯片圖形（PSS）生產(chǎn)的高要求。
   （6） 擁有成熟的LED照明晶片采用分步投影曝光的工藝技術(shù)。